未分院系导师

中国科学院微电子研究所

路鑫超

副研究员

研究领域:

表面等离激元与物质相互作用及其应用研究

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陆原

研究员

luyuan@ime.ac.cn

研究领域:

先进微电子封装，MEMS器件封装，光电器件封装等科研项目（1）车用多传感器系统关键技术研究,主持,部委级,2013-11--2016-11 （2）三维柔性基板及工业技术研发与产业化,参与,...

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陆江

副研究员

研究领域:

硅基功率器件、宽禁带SiC功率器件的可靠性设计及优化研究、功率半导体器件测试分析；硅基霍尔集成电路传感器设计

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欧毅

研究员

研究领域:

MEMS传感器

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彭松昂

副研究员

研究领域:

二维材料电子器件与电路

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齐月静

研究员

qiyuejing@ime.ac.cn

研究领域:

光刻技术、精密仪器及光学、光电信息处理

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尚海平

副研究员

shanghaiping@ime.ac.cn

研究领域:

MEMS传感器和微纳工艺技术

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苏梅英

副研究员

sumeiying@ime.ac.cn

研究领域:

先进封装热学与可靠性，三维系统封装可靠性及失效分析基础研究

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田晓丽

副研究员

研究领域:

IGBT/FRD等电力电子器件及工艺研究

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王师峥

副研究员

wangshizheng@ime.ac.cn

研究领域:

面向“太湖之光”和“海洋之光”等神威系超级计算机的深度学习中间件；基于申威系国产CPU的深度神经网络加速解决方案；面向极端环境和已压缩视频的鲁棒性计算机视觉算法；基于软硬件协同优化的仿生视...

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王文武

研究员

研究领域:

纳米尺度CMOS器件与工艺技术

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王林飞

副研究员

wanglinfei@ime.ac.cn

研究领域:

高可靠集成电路设计，集成电路可靠性技术研究

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夏洋

研究员

xiayang@ime.ac.cn

研究领域:

微电子工艺及装备

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许静

副研究员

xujing@ime.ac.cn

研究领域:

集成电路工艺与器件，金属硅化物及接触技术，MRAM集成技术

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张大勇

副研究员

研究领域:

石墨烯的化学气相沉积及转移技术、石墨烯的规模化制备及其在储能和电磁屏蔽方向的应用、以及基于二维材料的电子器件的制备和性质研究

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张庆钊

研究员

zhangqingzhao@ime.ac.cn

研究领域:

半导体等离子体制造技术和设备开发；太阳能电池制造技术及其设备技术开发

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