李薇薇
副教授
所属大学: 河北工业大学
所属学院: 电子信息工程学院
个人简介
1996.09-2000.06 河北工业大学攻读本科学位; 2000.09-2003.03河北工业大学攻读硕士学位; 2003.09-2006.06 河北工业大学攻读博士学位; 2006.09-今 河北工业大学电子科学与技术系任教
研究领域
主要从事微电子、光电子工艺研究,器件性能提升与改进,纳米材料制备与应用等方面的研究。
近期论文
1、 Li Wei-wei, LIU Yu-ling, TAN Bai-mei. A study on a new kind of substituted technology of Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ fluid. SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY(ISTC2004) 303~310。(EI收录);(EI收录:05519594045 ) 2、 Li Weiwei, Liu Yuling, Xing Zhe, Li Guangfu . Copper ion complexion on Cu CMP in ULSI. SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY(ISTC2004) 273~276。(EI收录);(EI收录:05519594039) 3、 Liu Yuling, Li Weiwei, Niu Xinhuan, Zhang Jianxin, Study on fabrication nanometer alkalescent abrasive CMP slurry and polishing technology. SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY(ISTC2004):294~298(EI收录) 4、 Zhou Jianwei, Liu Yuling, Li,Weiwei, Han Yunpeng, The research of the slicing slurry in the process of the ULSI substrate slicing.SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY(ISTC2004:284~287。(EI收录) 5、 李薇薇,刘玉岭,檀柏梅,周建伟,王娟。利用表面活性剂有效去除ULSI衬底硅片表面吸附颗粒,电子器件2005年6月第28卷第二期。283~285,EI收录;(EI收录:05259172665) 6、 Li Wei-wei,A New Kind of Technology for Post CMP Cleaning in IC Fabrication,ISTC2009,3月,128~129(EI收录:20101512846044) 7、 Li Weiwei The Mechanism of Organic Base and Surfactant in Silicon Wafer CMP Process. ISTIC2011.225 (EI收录:20112614108471)