刘鹏
工程师
所属大学: 北京大学
所属学院: 信息科学技术研究所
个人简介
刘鹏，男，1981年出生，硕士。2007年起，专业从事微电子加工工艺研究，主要研究方向是基于电子束光刻工艺的纳尺度图形化技术，和基于高密度等离子体干法刻蚀工艺的纳尺度图形转移技术
研究领域
开发大高宽比纳米结构无硬掩膜制造技术
所属大学: 北京大学
所属学院: 信息科学技术研究所
刘鹏，男，1981年出生，硕士。2007年起，专业从事微电子加工工艺研究，主要研究方向是基于电子束光刻工艺的纳尺度图形化技术，和基于高密度等离子体干法刻蚀工艺的纳尺度图形转移技术
开发大高宽比纳米结构无硬掩膜制造技术