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杨晓峰

研究员

所属大学: 复旦大学

所属学院: 微电子学院

邮箱:
xf_yang@fudan.edu.cn

个人主页:
https://sme.fudan.edu.cn/60/66/c31157a352358/page.htm

个人简介

教育背景 日本上智大学,机电控制,博士 学术经历 2011年03月-2018年04月复旦大学,研究员 1997年04月-2010年10月日本株式会社尼康,主任研究员 1989年03月-1993年03月东北大学,讲师

研究领域

精密运动控制系统的先进控制方法 IC装备特种执行器和传感器技术 纳米精度多自由度运动台的系统设计、仿真和集成技术