杨晓峰
研究员
所属大学: 复旦大学
所属学院: 微电子学院
个人简介
教育背景 日本上智大学,机电控制,博士 学术经历 2011年03月-2018年04月复旦大学,研究员 1997年04月-2010年10月日本株式会社尼康,主任研究员 1989年03月-1993年03月东北大学,讲师
研究领域
精密运动控制系统的先进控制方法 IC装备特种执行器和传感器技术 纳米精度多自由度运动台的系统设计、仿真和集成技术
所属大学: 复旦大学
所属学院: 微电子学院
教育背景 日本上智大学,机电控制,博士 学术经历 2011年03月-2018年04月复旦大学,研究员 1997年04月-2010年10月日本株式会社尼康,主任研究员 1989年03月-1993年03月东北大学,讲师
精密运动控制系统的先进控制方法 IC装备特种执行器和传感器技术 纳米精度多自由度运动台的系统设计、仿真和集成技术