所属大学: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所属学院: 未知
邮箱: mrwang2007@sinano.ac.cn
1、MEMS惯性器件 。2、压电微纳米机电系统 。3、大功率LED及其微纳米光学加工与应用