招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085400-电子信息

招生方向 微系统、微纳传感器

奖励信息 （1） 基于工艺选择性的MEMS三维制造关键技术与设计方法, 二等奖, 国家级, 2012

专利成果 （ 1 ） 一种硅纳米线隧穿场效应晶体管及其制, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN201410165328.9 科研项目 （ 1 ） 面向典型污染物检测的纳米敏感材料与高性能传感器基础研究, 主持, 国家级, 2017-07--2022-06

（1） Excellent field emission properties of VO2(A), Appl. Phys. Lett., 2018, 第 5 作者 （2） Wafer-level and highly controllable fabricated silicon, Nano Research, 2017, 第 3 作者 （3） Multiplexed detection of lung cancer biomarkers in patients serum with, Biosensors and Bioelectronics, 2017, 第 5 作者 （4） SiC emitters for nanoscale vacuum electronics: A systematic study of cathode–anode, Journal of Vacuum Science & Technology B, 2017, 第 3 作者 （5） Low voltage field emission of single Cu nanowire in air with nanoscale gaps for, Micro & Nano Letters, 2017, 第 4 作者 （6） Micro-silicon phononic crystal with locally resonant theory, Appl. Phys. Lett., 2017, 第 5 作者 （7） Plastic deformation of membrane with mesa silicon, Microsyst Technol, 2017, 第 4 作者