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李璟

博导

所属大学: 中国科学院大学

所属学院: 微电子学院

邮箱:
lijing2018@ime.ac.cn

个人主页:
http://people.ucas.ac.cn/~0066388

个人简介

招生专业 080300-光学工程 080902-电路与系统 085400-电子信息

招生方向 先进光刻 智能信息处理与传输 集成电路光刻技术

教育背景 2004-09--2006-09 荷兰埃因霍芬理工大学 工学博士 2002-10--2004-08 荷兰莱顿大学 理学硕士 1998-09--2002-08 东南大学 理学学士 工作简历 2006-09~2010-09,荷兰埃因霍芬理工大学, 理学博士 2004-09~2006-09,荷兰埃因霍芬理工大学, 工学博士 2002-10~2004-08,荷兰莱顿大学, 理学硕士 1998-09~2002-08,东南大学, 理学学士 科研项目 ( 1 ) 14nm浸没光刻套刻对准关键技术研究, 主持, 国家级, 2018-10--2021-03 ( 2 ) 测控系统真空实验研究, 主持, 部委级, 2020-06--2023-06 ( 3 ) 光刻系统集成关键技术, 主持, 市地级, 2018-11--2022-12 ( 4 ) EUV系统协同及综合试验验证平台, 主持, 部委级, 2019-09--2020-12 ( 5 ) 核心控制机构技术研究, 主持, 市地级, 2020-06--2020-11

近期论文

Analysis of the Perception of Graphical Encodings for Information Visualization, Eindhoven University of Technology, 2010-12, 第 1 作者