廖志杰
硕士生导师
个人简介
招生方向 应用光学
教育背景 2002-08--2009-06 中科院光电技术研究所 博士 1994-09--1998-07 长春理工大学 学士
工作简历 2009-06~现在, 中科院光电技术研究所, 副研究员
研究领域
主要从事光刻投影曝光系统中的光学系统设计和仿真工作。涉及光学系统的优化设计和仿真技术,非成像照明设计和性能仿真技术,照明性能的检测技术及其应用。
招生方向 应用光学
教育背景 2002-08--2009-06 中科院光电技术研究所 博士 1994-09--1998-07 长春理工大学 学士
工作简历 2009-06~现在, 中科院光电技术研究所, 副研究员
主要从事光刻投影曝光系统中的光学系统设计和仿真工作。涉及光学系统的优化设计和仿真技术,非成像照明设计和性能仿真技术,照明性能的检测技术及其应用。