艾华
博士生导师
个人简介
招生方向 光电位移测量
学历 1984年毕业于长春光机学院光学仪器专业,同年分配到长春光机所至今。1999年提升研究员 工作经历 1.从事大规模集成电路光刻设备研制; 2.超高精度和分辨率位移传感器; 3.大型工程角位移测量系统研制; 4.激光共焦扫描系统。 专利与奖励 1.国家科技进步三等奖一项,排名第一; 2.中科院科技进步二等奖一项,排名第一; 3.“七五”八六三个人三等奖; 4.“长白青年科技奖”一等奖; 5.吉林省第五批中青年科技专家; 6.国务院特殊津贴获得者。
研究领域
1.光电位移测量:应用激光干涉、测量角、线位移的光学系统,即微纳量位移的测量; 2.激光测量技术:半导体激光器在光学仪器中的应用; 3.激光共焦测量技术。