1977年毕业于西安交通大学机械制造专业，1989年获西安交通大学机械制造专业工学硕士学位，2011年获英国伯明翰大学机械工程专业工学博士学位（Ph.D）。西安交通大学教授。教育部科学技术委员会副主任，国务院学位委员会学科评议组成员，中国机械工程学会副理事长，中国微米纳米技术学会副理事长，十一、十二届全国人大常委。

长期从事微纳制造与先进传感技术、精密超精密加工与测试技术及装备等方面的研究，在高端MEMS传感技术及系列器件、数字化精密测量与超精密加工技术与装备的工程科技领域取得了突出成就，在微纳米技术相关基础理论和生物检测技术及仪器等方面开展了创新性研究