个人简介
1990.9 ～ 1994.7 燕山大学机械工程系流体传动及控制专业 本科 1994.9 ～ 1997.2 浙江大学机械工程系流体传动及控制专业 工学硕士 1997.2 ～ 2000.6 浙江大学光电工程系测试计量技术及仪器专业 工学博士 2000.9 ～ 2002.7 上海交通大学微纳米科学技术研究院 博士后 2002.9 至今 上海交通大学微纳科学技术研究院 副教授
研究领域
电磁驱动 MEMS 器件 光学 MEMS 器件及其微细加工方法
1990.9 ～ 1994.7 燕山大学机械工程系流体传动及控制专业 本科 1994.9 ～ 1997.2 浙江大学机械工程系流体传动及控制专业 工学硕士 1997.2 ～ 2000.6 浙江大学光电工程系测试计量技术及仪器专业 工学博士 2000.9 ～ 2002.7 上海交通大学微纳米科学技术研究院 博士后 2002.9 至今 上海交通大学微纳科学技术研究院 副教授
电磁驱动 MEMS 器件 光学 MEMS 器件及其微细加工方法