阮勇
研究员
所属大学: 清华大学
所属学院: 精密仪器系
个人简介
教育背景 1994.09—1998.07 西安电子科技大学计算机系，计算机应用专业，工学学士 2000.09—2006.01 北京大学微纳电子学系，微电子学与固体电子学专业，硕博连读，理学博士 工作履历 1998.08—2000.07 航天科技集团 西安微电子技术研究所 助理工程师 2006.04—2008.06 清华大学 微电子学研究所博士后 2010.03—2013.11 清华大学 精密仪器与机械学系 助理研究员 2013.12—至今 清华大学精密仪器系 副研究员
研究领域
从事微纳米技术特别在MEMS工艺与相关器件等方面研究。具体包括： （1）MEMS器件与关键技术 （2）硅基MEMS工艺规则设计与加工技术