李小清
研究员
个人简介
承担的科研项目: 1. 多介质环境下两栖仿生龟机器人关键技术研究,国家863计划,2007.10-2011.5,项目负责人; 2. 高性能超精密主动隔振系统研发,国家重大专项 2010.1-2012.12; 3. 双工件台运动控制子系统硬件研发,国家重大专项,2010.1-2012.12; 4. 国基金 “数控轴插补的理论与实现”, 2011.1-2013.12; 5. 国基金“面向光刻机的超精密平面电机的设计与试验研究”, 2007.10-2011.10; 6. “100nm光刻机工件台、掩模台运动控制系统”,国家863项目2004-2007; 7. 国家973项目“高速高精运动的生成和控制”,2004; 8. 国家863项目“高速高精运动控制器的研制”,2003; 9. 国家863项目“4+2多足步行机器人的研制”,2002;
研究领域
主要从事数控技术,机械电子工程,机器人技术,微电子制造装备,工业自动控制技术,高速高精运动控制技术,伺服驱动技术的研究