刘世元（Liu Shiyuan，Professor），机械科学与工程学院、光学与电子信息学院双聘教授，博士生导师；国家杰出青年科学基金获得者，国家科技创新领军人才，湖北省“纳米光学测量技术与仪器”创新群体负责人；华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心主任，武汉光电国家研究中心、数字制造装备与技术国家重点实验室学术带头人；国际测量与仪器委员会委员，中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长，中国微米纳米技术学会理事，中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员，中国机械工程学会微纳制造技术分会常务委员，中国光学学会光学测试专业委员会委员，湖北省仪器仪表学会副理事长。 主要从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、光刻成像理论与计算光刻、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作，致力于光学工程、精密机械、仪器科学、集成电路、光电材料等学科的交叉融合，强调基础研究与产业应用并重。先后主持国家自然科学基金（7项，包括国基金杰青项目、重大仪器项目和重点项目）、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项等国家级科研项目30余项。获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等科技奖励，发表学术论文200余篇，获授权国际国内发明专利100余件，国内外重要学术会议特邀报告50余次。研制的仪器、软件、测量装备等多项成果已实现成果转化和产业化，在中芯国际、长江存储、华为、京东方、华星光电等微电子、光电子龙头企业获得批量应用。

1. 面向集成电路IC制造的纳米测量技术与装备 面向集成电路(IC)、发光二极管(LED)、有机显示(OLED)、光伏太阳能(PV)、柔性电子制造中的工艺控制和良率管理，研究纳米薄膜、纳米结构关键尺寸(CD)、套刻误差等三维形貌测量新原理，探索纳米颗粒、刮伤、断线、桥接等纳米缺陷检测新方法，解决IC制造纳米测量装备与缺陷检测装备中的“卡脖子”技术难题。 2. 新型椭偏仪研制与半导体光电材料表征测量 研制穆勒矩阵椭偏仪、成像椭偏仪、层析椭偏仪、红外椭偏仪、太赫兹椭偏仪、超快椭偏仪、高速斯托克斯偏振仪、片上型椭偏仪等新型椭偏仪器，实现石墨烯、过渡金属硫族化合物、黑磷、硅烯等新型二维材料，以及IC、LED、OLED、PV、柔性电子等新型半导体光电材料的电学、光学、力学、动力学等物理特性表征测量。 3. 薄膜光电器件与新型偏振器件建模计算及优化设计 面向多层纳米薄膜与纳米结构的有机发光显示、柔性显示、有机光伏、钙钛矿太阳能电池等薄膜光电器件，发展高效鲁棒的光学建模计算与优化设计方法，提升器件的光学耦合效率和能量转化效率。采用新型双折射、手性、各向异性材料，引入超材料、超表面等纳米结构，优化设计并研制新型偏振器件。

主要从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作，致力于精密机械、光学工程、仪器科学、光电材料、集成电路等学科的交叉融合，强调基础研究与产业应用并重

华中科技大学-精测电子集团纳米光学测量联合研究中心主任，数字制造装备与技术国家重点实验室、武汉光电国家研究中心学术带头人；国际测量与仪器委员会委员，中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长，中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员，中国光学学会光学测试专业委员会委员，湖北省仪器仪表学会副理事长

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