精密仪器系
清华大学
白本锋
教授
baibenfeng@tsinghua.edu.cn
研究领域:
基于超快激光特种加工技术的微纳结构光学功能器件:微纳复合结构高性能面源黑体,超构表面,纳米天线及纳米光源等 近场光学超分辨显微及纳区物性表征原理、技术及仪器:旋性及相位分辨扫描近场光学显微镜,...
曾理江
教授
zenglj@tsinghua.edu.cn
研究领域:
主要研究包括大尺寸光栅的制作技术,光栅的离子束刻蚀及实时监测技术,中阶梯光栅的制作,光栅掩膜的无损检测,光栅参数高精度测量等。也包括光栅在计量中的应用,如二维光栅尺,基于光栅的外差调制技术,外差...
董永贵
教授
dongyg@tsinghua.edu.cn
研究领域:
谐振式传感器 基于石英晶体谐振器及声表面波器件的力、生物化学量传感器。这方面的研究工作于2003年获得国家发明二等奖。 脉冲式电阻抗谱传感器 基于脉冲激励响应机制的电阻抗谱传感器,用于材料...
冯焱颖
副教授
yyfeng@mail.tsinghua.edu.cn
研究领域:
基于原子光学的新型导航与精密测量技术,研究兴趣包括原子干涉陀螺、原子重力/重力梯度仪、量子惯性测量单元、原子磁力仪、光晶格微波钟等; 面向医疗和国家安全的微纳器件与系统技术,研究兴趣包括便...
巩马理
教授
gongml@mail.tsinghua.edu.cn
高颖
高级工程师
gaoy.1010@163.com
侯汝舜
高级实验师
hours@mail.tsinghua.edu.cn
韩丰田
研究员
hft@mail.tsinghua.edu.cn
研究领域:
导航级硅微静电陀螺仪及其误差控制技术 基于硅微静电加速度计的数字地震检波器 星载硅微静电加速度计及其应用技术 面向新型等效原理空间实验的差分静电加速度计 平台式惯性导航系统的精密伺服控制技术