机械工程系
清华大学
李炳燃
助理研究员
libingran@mail.tsinghua.edu.cn
研究领域:
智能数控系统技术 研究内容: 国产高档五轴高档数控系统 航空航天复杂结构高精高效数控加工 国产高端放疗装备控制
路新春
研究员
xclu@tsinghua.edu.cn
研究领域:
微纳制造:纳米或亚纳米精度表面制造是纳米科技的重要领域,研究对象包括纳米精度表面制造的原理、工艺及装备,涉及到机械、材料、力学、化学、物理等多学科交叉。 表面界面微/纳摩擦学理论和应用:纳...
路益嘉
助理研究员
luyijia@tsinghua.edu.cn
研究领域:
研究领域包括生物机械、摩擦纳米发电机(TENG)和集成电路装备,主要从事人-器械匹配、柔性自驱动传感器和集成电路装备工艺腔室的多物理场耦合设计方面的研究,开展实验、理论和应用研究工作
鲁森
助理研究员
lusenxyz@tsinghua.edu.cn
研究领域:
面向国家高性能集成电路装备自主研发需求,开展大口径高精度平面光栅制造技术和3D IC高精度堆叠技术等相关研究工作。主要内容包括: 1. 扫描干涉光刻机超精密测控技术研究 2....
穆海华
助理研究员
muhh@mail.tsinghua.edu.cn
研究领域:
自2003年起,一直从事光刻装备超精密运动系统的纳米精度精密控制研究。主要研究兴趣在于纳米运动轨迹规划方法及其精度影响与控制、动态行为耦合及其精细化控制、基于前馈-反馈广义耦合的控制参数精细化标...